測量顯微鏡的測量可以是單軸的、維度平面的測量也可以是維度空間坐標(biāo)的測量衡量的時候先專注，拿分，再算罰分。讀數(shù)來源于標(biāo)尺，即光柵系統(tǒng)，調(diào)焦和準(zhǔn)直依賴于光學(xué)系統(tǒng)，還有一個照明光源，它單純影響測量效果和精度，因為如果基于圖像技能測量的儀器不能有效正確照明，測量結(jié)果就會明顯偏離其真實尺寸。除上述因素外，情境前提也是限制測量精度的一個不可忽視的因素。

基于以上分析，我們可以綜合以下誤差來源：

光柵計數(shù)尺的誤差；

工作臺移動時的直線度、角擺帶來的誤差；

工作臺兩個測量軸垂直度誤差；

顯微鏡光軸與工作臺不垂直引起的誤差；

由于測量的室溫與校準(zhǔn)所需的參考溫度存在偏差而導(dǎo)致的誤差；

光源照明前提變化引起的聚焦和對準(zhǔn)誤差。

在這些因素中，前段所說的誤差是硬件誤差，在儀器生產(chǎn)過程中已經(jīng)形成并固定下來，無法改變，必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小溫度影響引起的誤差。后一個術(shù)語經(jīng)常被忽略在實際測量中，當(dāng)光源的照明前提發(fā)生變化時，被測工件的照明效果和圖像質(zhì)量都會受到影響重要原因是測量顯微鏡的圖像是通過CCD繪制的，雖然CCD有自動調(diào)節(jié)增益的作用，但當(dāng)亮度過高時，它未能起到調(diào)節(jié)作用，導(dǎo)致被測工件的圖像縮小，而當(dāng)亮度過低時，工件的圖像變大。

在測量具有重復(fù)圖案的布局之間的距離時，只要在整個測量過程中照明前提保持不變，就可以忽略這種影響，因為每個重復(fù)的圖案布局同時變大或變小，距離的測量簡單地忽略了圖像變形的影響，例如測量一個玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情況，比如測量圓的直徑、工件的長度和寬度都會帶來明顯的誤差。

用圖像測量工件樣圖的幾何尺寸時，光照前提的變化會簡單地測量圖像的測量尺寸，比如線寬、圓直徑等幾何位置都是次要的，因為得到的邊界點(diǎn)就是產(chǎn)品需求檢驗的邊界在高精度測量中，這是導(dǎo)致測量不確定度增加的一個環(huán)節(jié)因素，應(yīng)該引起足夠的重視。