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工具測量顯微鏡的基礎(chǔ)簡介
工具測量顯微鏡的基礎(chǔ)簡介
測量顯微鏡,歷史上是以準確的倍率把工件形狀放大以后,通過與模板進行象面比對,進行測量、檢查的顯微鏡。為此,與通常的觀察用顯微鏡不同,它采用與輪廓投影儀相同的遠心光路系統(tǒng),其物鏡倍率也很準確。
近年來,使用CCD并輔以必要的測量軟件,測量顯微鏡不僅可以對所攝取的工件視頻圖象進行窗內(nèi)坐標(biāo)測量,依靠測量載物臺帶動工件移動,還可以實現(xiàn)超視窗的坐標(biāo)測量,這已經(jīng)成為它的主流用法。為了適應(yīng)這種需求,載物臺的行程需要更大,計算機數(shù)據(jù)處理功能也需要更強。
另外,近來隨著測量顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)制作倍率的更加準確,也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡易偏光觀察等功能的通用型光學(xué)頭。在高倍率觀察時,還可以使用FA(輔助對焦)鏡筒進行高度測量,可以通過縮小視在的景深,提高Z軸方向測量的重復(fù)精度。測量顯微鏡配上數(shù)碼相機,還可以拍攝數(shù)碼相片。多種選配功能,使得測量顯微鏡的應(yīng)用越來越廣。
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